扫描电镜的原理

扫描电镜是一种利用高能聚焦电子束扫描样品表面，从而获得样品信息的电子显微镜。

所以其使用电子束为照明源，电子束在样品表面扫描，利用电子和物质作用所产生的信息结合电子光学原理进行成像。判断扫描电镜性能主要依据分辨率和有效放大倍数。分辨率即能够分辨的最小距离。扫描电子显微镜主要用于各种材料的微观分析和成分分析，已经成为材料科学、生命科学和各生产部门质量控制中不可缺少的工具之一。

扫描电子显微镜与其他近代测试技术相结合用来研究原材料的矿物结构形态与材料工艺、性能的关系；研究材料的微观结构、物相组成与其性能的关系；寻找改进材质的途径和研制预见性的新材料，进行品质管理、异物分析、失效分析等工作。

扫描电子显微镜的特点介绍

1、仪器分辨率较高，通过二次电子像能够观察试样表面6nm左右的细节，采用LaB6电子枪，可以进一步提高到3nm。

2、仪器放大倍数变化范围大，且能连续可调。因此可以根据需要选择大小不同的视场进行观察，同时在高放大倍数下也可获得一般透射电镜较难达到的高亮度的清晰图像。

3、观察样品的景深大，市场大，图像富有立体感，可直接观察起伏较大的粗糙表面和试样凹凸不平的金属断口象等，使人具有亲临微观世界现场之感。

4、样品制备简单，只要将块状或粉末状的样品稍加处理或不处理，就可直接放到扫描电镜中进行观察，因而更接近于物质的自然状态。

以上内容参考：百度百科-扫描电子显微镜